Читать книгу Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов полностью онлайн бесплатно без регистрации и сокращений.
Жанр: общая химия, учебники и пособия для вузов, физическая химия, электроника.
Автор книги: Ю. А. Родионов
Про что книга
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
